
ਕੁਆਰਟਜ਼ ਵੇਫਰ ਸਫਾਈ ਕਿਸ਼ਤੀ
ਇੱਕ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਵੇਫਰ ਕਲੀਨਿੰਗ ਬੋਟ ਇੱਕ ਉਪਕਰਣ ਹੈ ਜੋ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਫਾਈ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਪਦਾਰਥ: 99.99% ਕੁਆਰਟਜ਼
ਵਰਣਨ
ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
- ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ
- ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ
- ਵਿਰੋਧ ਪਹਿਨੋ
- ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਆਸਾਨ
ਵਰਤੋਂ: ਸਤਹ ਦੇ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਹਟਾਓ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿਪਸ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ।
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ
1. ਪੂਰਵ-ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਕਲੀਨਿੰਗ
ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਪ੍ਰਸਾਰ ਜਾਂ ਆਕਸੀਕਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਜੈਵਿਕ, ਧਾਤੂ, ਅਤੇ ਕਣਾਂ ਦੇ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਗਿੱਲੇ ਬੈਂਚ ਜਾਂ ਡੁੱਬਣ ਵਾਲੇ ਸਫਾਈ ਦੇ ਕਦਮਾਂ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਆਰਸੀਏ ਸਫਾਈ) ਦੁਆਰਾ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਲਿਜਾਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
2. ਪੋਸਟ-CMP (ਕੈਮੀਕਲ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਲੈਨਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ) ਸਫਾਈ
ਗੰਦੀ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਦੂਰ ਕਰਨ ਲਈ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਕਲੀਨਿੰਗ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਫੜੀ ਰੱਖਦਾ ਹੈ, ਬਾਅਦ ਦੇ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਕਦਮਾਂ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਸਮਤਲਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
3. ਫਰੰਟ-ਅੰਤ-ਦਾ-ਲਾਈਨ (FEOL) ਨਿਰਮਾਣ
FEOL ਸਫਾਈ ਦੇ ਨਾਜ਼ੁਕ ਪੜਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਕੰਮ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਜਿੱਥੇ ਗੇਟ ਆਕਸਾਈਡ ਦੇ ਵਾਧੇ, ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ, ਜਾਂ ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਲਈ ਅਤਿਅੰਤ ਸਾਫ਼ ਸਤਹਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
4. ਲਾਈਨ (BEOL) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪਿੱਛੇ-ਅੰਤ--
ਇੰਟਰਕਨੈਕਟ ਬਣਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ, ਐਚ ਦੇ ਉਪ-ਉਤਪਾਦਾਂ, ਅਤੇ ਧਾਤੂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਪੋਸਟ-ਐੱਚ ਜਾਂ ਪੋਸਟ-ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਕਲੀਨਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
5. ਐਡਵਾਂਸਡ ਪੈਕੇਜਿੰਗ
2.5D/3D IC ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਵਿੱਚ ਡਾਈਸਿੰਗ ਜਾਂ ਬੰਧਨ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਵੇਫਰ-ਪੱਧਰ ਦੀ ਸਫਾਈ ਦੀ ਸਹੂਲਤ ਦਿੰਦਾ ਹੈ, ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਇੰਟਰਕਨੈਕਟਸ ਲਈ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ-ਮੁਕਤ ਇੰਟਰਫੇਸ।
6. ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਨਿਰਮਾਣ
ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲ ਦੇ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਸੁਧਾਰੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਸਮਾਈ ਅਤੇ ਊਰਜਾ ਪਰਿਵਰਤਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਲਈ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣਾ।
ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ
|
ਭੌਤਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ |
ਮੁੱਲ |
|
ਸ਼ੁੱਧਤਾ |
>99.99% |
|
ਘਣਤਾ |
2.2 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ3 |
|
ਪਾਰਦਰਸ਼ਤਾ |
>90% |
|
ਮੋਹਸ ਕਠੋਰਤਾ |
5.5--6.5 |
|
ਵਿਗਾੜ ਬਿੰਦੂ |
1280 ਡਿਗਰੀ |
|
ਨਰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਬਿੰਦੂ |
1750 ਡਿਗਰੀ |
|
ਐਨੀਲਿੰਗ ਪੁਆਇੰਟ |
1250 ਡਿਗਰੀ |
|
ਖਾਸ ਤਾਪ (20 - 350 ਡਿਗਰੀ ) |
670J/kg ਡਿਗਰੀ |
|
ਥਰਮਲ ਕੰਡਕਟੀਵਿਟੀ (20 ਡਿਗਰੀ) |
1.4W/m ਡਿਗਰੀ |
|
ਤਾਪ ਚਾਲਕਤਾ (w/mk, 1000 ਡਿਗਰੀ) |
1.0-1.2 |
|
ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ |
1.4585 |
|
ਥਰਮਲ ਵਿਸਤਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ |
5.510 -7cm/cm. ਡਿਗਰੀ |
|
ਗਰਮ - ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲਾ ਤਾਪਮਾਨ |
1750--2050 ਡਿਗਰੀ |
|
ਛੋਟੀ - ਮਿਆਦ ਦੀ ਸੇਵਾ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ |
1450 ਡਿਗਰੀ |
|
ਲੰਬੀ - ਮਿਆਦ ਦੀ ਸੇਵਾ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ |
1100 ਡਿਗਰੀ |
|
ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣ |
ਮੁੱਲ |
|
ਐਸਿਡ ਰੋਧਕ |
ਮਜ਼ਬੂਤ ਐਸਿਡ (HF ਨੂੰ ਛੱਡ ਕੇ), ਮਜ਼ਬੂਤ ਅਲਕਲੀ, ਜੈਵਿਕ ਘੋਲ |
|
ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਖੋਰ ਰੋਧਕ |
ਸ਼ਾਨਦਾਰ |
|
ਧਾਤੂ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਮੱਗਰੀ |
~ 5 ਪੀਪੀਐਮ |
|
ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ |
ਮੁੱਲ |
|
ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ |
7107Ω.ਸੈ.ਮੀ |
|
ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਦੀ ਤਾਕਤ |
250~400Kv/cm |
|
ਡਾਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਸਥਿਰ |
3.7~3.9 |
|
ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਸਮਾਈ ਗੁਣਾਂਕ |
<410-4 |
|
ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਨੁਕਸਾਨ ਗੁਣਾਂਕ |
<110-4 |
|
ਮਕੈਨੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ |
ਮੁੱਲ |
|
ਸੰਕੁਚਿਤ ਤਾਕਤ |
1100MPa |
|
ਝੁਕਣ ਦੀ ਤਾਕਤ |
67MPa |
|
ਲਚੀਲਾਪਨ |
48MPa |
|
ਪੋਇਸਨ ਦਾ ਅਨੁਪਾਤ |
0.14~0.17 |
|
ਯੰਗ ਦਾ ਮਾਡਯੂਲਸ |
72000MPa |
|
ਸ਼ੀਅਰ ਮਾਡਿਊਲਸ |
31000MPa |
ਸਫਾਈ ਦੇ ਤਰੀਕੇ
ਇਮਰਸ਼ਨ ਸਫਾਈ:
ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਸਫਾਈ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਕਿਸ਼ਤੀ ਵਿੱਚ ਰੱਖੋ, ਫਿਰ ਸਫਾਈ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਕਿਸ਼ਤੀ ਨੂੰ ਸਫਾਈ ਤਰਲ ਵਿੱਚ ਡੁਬੋ ਦਿਓ, ਅਤੇ ਸਫਾਈ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵੇਫਰ ਬੋਟ ਨੂੰ ਚੁੱਕ ਕੇ ਸਫਾਈ ਤਰਲ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸੰਪਰਕ ਨੂੰ ਵਧਾਓ।
ਸਪਰੇਅ ਸਫਾਈ:
ਸਪਰੇਅ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਸਫਾਈ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਕਿਸ਼ਤੀ ਨੂੰ ਸਿੱਧਾ ਖੜ੍ਹਾ ਕਰੋ, ਅਤੇ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਵੇਫਰ ਸਤਹ 'ਤੇ ਸਫਾਈ ਤਰਲ ਨੂੰ ਛਿੜਕਣ ਲਈ ਨੋਜ਼ਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ। ਦੇ
ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਦੀ ਸਫਾਈ ਦਾ ਮਹੱਤਵ:
- ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਫਾਈ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ: ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿਪਸ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਗੁਣਵੱਤਾ ਲਈ ਇੱਕ ਸਾਫ਼ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਫਾਈ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਕਿਸ਼ਤੀ ਸਫਾਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੀ ਹੈ।
- ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿਪਸ ਦੀ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ: ਚਿਪਸ ਦੀ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਹਟਾ ਕੇ ਉਤਪਾਦ ਦੇ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਘਟਾਓ।
- ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿਪਸ ਦੀ ਉਪਜ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰੋ: ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸਫਾਈ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰੋ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚਿਪਸ ਦੀ ਪੈਦਾਵਾਰ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੋਵੇਗਾ।
ਗਰਮ ਟੈਗਸ: ਕੁਆਰਟਜ਼ ਵੇਫਰ ਸਫਾਈ ਕਿਸ਼ਤੀ, ਚੀਨ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਵੇਫਰ ਸਫਾਈ ਕਿਸ਼ਤੀ ਨਿਰਮਾਤਾ, ਸਪਲਾਇਰ, ਫੈਕਟਰੀ
ਜਾਂਚ ਭੇਜੋ
ਤੁਸੀਂ ਸ਼ਾਇਦ ਇਹ ਵੀ ਪਸੰਦ ਕਰੋ







